โหมดความล้มเหลวของระบบเมคคาทรอนิกส์รวมถึงโหมดความล้มเหลวของระบบย่อยทางกลไก ไฟฟ้า คอมพิวเตอร์ และการควบคุม ซึ่งสามารถจำแนกได้ว่าเป็นความล้มเหลวของฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์ failure analysis ของระบบเมคคาทรอนิกส์ประกอบด้วยการตรวจจับข้อบกพร่องของฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์ การระบุ (การวินิจฉัย) การแยก และการกู้คืน (การกู้คืนในทันทีหรืออย่างนุ่มนวล) ซึ่งต้องการการควบคุมที่ชาญฉลาด

failure analysis สามารถอำนวยความสะดวกได้ด้วยข้อมูลที่ซ้ำซ้อน

โดยการตรวจสอบประสิทธิภาพของระบบสำหรับงานที่กำหนด/งานที่กำหนด failure analysis มีการหลอมรวมของระบบประสาทสัมผัส และสามารถให้ข้อมูลเกี่ยวกับสถานะของระบบและส่วนประกอบของระบบ ในงานที่ได้รับมอบหมายของระบบ ความสำเร็จของงานในกรณีที่มีข้อผิดพลาดของผู้ปฏิบัติงานหรือการเปลี่ยนแปลงที่ไม่คาดคิดในสภาพแวดล้อมหรือสำหรับสภาพแวดล้อมแบบไดนามิก วิธีการตรวจสอบที่ง่ายที่สุดระบุสองเงื่อนไข failure analysis โดยใช้ข้อมูล/สัญญาณเซ็นเซอร์ หากสัญญาณเซ็นเซอร์น้อยกว่าค่าเกณฑ์

failure analysis มิฉะนั้นจะผิดปกติ ในการใช้งานจริงส่วนใหญ่ สัญญาณนี้ไวต่อการเปลี่ยนแปลงในสภาพการทำงานของระบบ/กระบวนการทำงานและเสียงรบกวน และต้องใช้วิธีการตัดสินใจที่มีประสิทธิภาพมากขึ้น โดยทั่วไป วิธีการตรวจสอบสามารถแบ่งออกเป็นสองประเภท วิธีการตามแบบจำลองและวิธีตามคุณลักษณะ ในวิธีการที่ใช้แบบจำลอง การตรวจสอบจะดำเนินการบนพื้นฐานของการสร้างแบบจำลองระบบและการประเมินแบบจำลอง ระบบเชิงเส้นตรงและไม่แปรผันตามเวลาเป็นที่เข้าใจกันเป็นอย่างดี และสามารถอธิบายได้ด้วยโมเดลจำนวนหนึ่ง

failure analysis แบบจำลองค่าเฉลี่ยเคลื่อนที่แบบถดถอยอัตโนมัติ

เมื่อพบแบบจำลอง failure analysis การตรวจสอบสามารถทำได้โดยการตรวจจับการเปลี่ยนแปลงของพารามิเตอร์แบบจำลอง (เช่น การหน่วงและความถี่ธรรมชาติ) และ/หรือการเปลี่ยนแปลงของการตอบสนองของระบบที่คาดไว้ (เช่น ข้อผิดพลาดในการทำนาย) วิธีการตรวจสอบตามแบบจำลองยังเรียกว่าวิธีการตรวจจับความล้มเหลว ระบบที่ใช้แบบจำลองต้องทนทุกข์ทรมานจากข้อจำกัดที่สำคัญสองประการ failure analysis จำนวนมากเป็นแบบไม่เชิงเส้น ระบบแปรผันตามเวลา ประการที่สอง สัญญาณเซ็นเซอร์มักขึ้นอยู่กับสภาพการทำงาน

ดังนั้นจึงเป็นเรื่องยากที่จะระบุว่าการเปลี่ยนแปลงของสัญญาณเซ็นเซอร์นั้นเกิดจากการเปลี่ยนแปลงของสภาพการทำงานหรือการเสื่อมสภาพของกระบวนการ วิธีการตรวจสอบตามคุณสมบัติใช้คุณสมบัติที่เหมาะสมของสัญญาณเซ็นเซอร์เพื่อระบุสภาวะการทำงาน คุณสมบัติของสัญญาณเซ็นเซอร์ failure analysis engineer อาจเป็นคุณลักษณะโดเมนเวลาและ/หรือความถี่ของสัญญาณเซ็นเซอร์ เช่น ค่าเฉลี่ย ความแปรปรวน ความเบ้ ความโด่ง ปัจจัยยอด หรือกำลังในแถบความถี่ที่ระบุ การเลือกดัชนีการติดตามที่เหมาะสมเป็นสิ่งสำคัญ